张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发单片晶圆清洗系统(Wafer Scrubber)采购项目国际竞争性招标公开招标公告上海项目

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项目概况

张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发单片晶圆清洗系统(Wafer Scrubber)采购项目国际竞争性招标 招标项目的潜在投标人应在中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼获取招标文件，并于2020年10月15日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：0705-204118101825

项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发单片晶圆清洗系统(Wafer Scrubber)采购项目国际竞争性招标

预算金额：380.0000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币）

采购需求：

单片晶圆清洗系统(Wafer Scrubber):Wafer size：200mm；
清洗后晶圆表面颗粒数(≥0.2um)小于10；
晶圆清洗后表面无划痕；
具备刷头双面清洗；
大于95%的晶圆表面颗粒去除率
带CO2 气泡发生器。
数量：1台/套
交货期：2021年04月15日前

合同履行期限：按招标文件要求

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本次招标所需的资金来源已经落实,拟采购的设备已通过进口论证。

3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须是投标货物的制造商，或是再制造企业，或是取得有效授权的代理商。(若是再制造企业，应当具备再制造生产所需的必备条件（见质检检函[2008]109号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”），并向所在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面唯一授权书及售后服务授权书。)；2） 投标货物可以是全新设备，也可以是再制造后的旧设备，但不可以是改造设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为旧设备，须提供设备的生产年份和序列号，且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求，通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。）；3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称电子交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册（由于电子交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）；4） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照或其他相关登记证明文件）；5） 投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；6） 投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有单片晶圆清洗系统(Wafer Scrubber)整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；7） 投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标人提出要求后的3天内接受招标人对机台真实性的现场查验；8） 本项目不接受联合体投标。

三、获取招标文件

时间：2020年09月22日  至 2020年09月29日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至21:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

方式：至现场购买或发邮件

售价：￥1000.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2020年10月15日 09点30分（北京时间）

开标时间：2020年10月15日 09点30分（北京时间）

地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼上海国际招标有限公司会议室（详见电子屏幕）

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：中国科学院上海高等研究院　　　　　

地址：上海市浦东新区海科路99号　　　　　　　　

联系方式：陈洁21-20325067　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：上海国际招标有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼　　　　　　　　　　　　

联系方式：赵丽莉86-21-62791919×135　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：赵丽莉

电　话：　　86-21-62791919×135