辽宁省检验检测认证中心购置影像测量仪校准装置、中高频振动测量系统等计量标准设备采购项目竞争性谈判公告

1、工作条件：

环境温度：（20±5）℃。

2、技术规格：

2.1 技术指标：

★直径0.1mm、0.5mm和20mm的圆形靶标：圆度≤0.5μm，U≤0.3μm k=2，材质：石英玻璃；

★同心圆靶标：圆度≤0.5μm，U≤0.3μm k=2，材质：石英玻璃；

★微刻线尺：1mm/10mm，U≤0.3μm k=2，材质：石英玻璃；

★二维掩膜板：不小于300mm×300mm, U≤0.3μm k=2，材质：石英玻璃；

★影像测量仪用台阶规：长大于300mm，宽大于40mm。相邻阶梯高度20mm，至少5个台阶。台阶规底面为平面，不得有局部或边缘突起。采用玻璃靶标，靶标上刻直径φ5mm轮廓线，φ5mm圆心刻十字线，线长≥3mm，线宽≤5μm。玻璃靶标厚度2mm。凹槽台阶面的平面度≤0.005mm，台阶高度的不确定度U≤1μm k=2。

2.2 测量功能：

序号

校准项目

标准器及其设备

1

探测误差（P_2D）

标称直径（20～50）mm，圆度不超过1/4MPE P_2D的圆形靶标

2

测量平面内的尺寸测量误差（E_XY）

不确定度不大于1/4MPE E_XY的线纹尺或二维掩膜板

3

垂直尺寸测量误差（E_Z）

不确定度不大于1/4MPE E_Z的量块或者台阶规

4

各截面测量结果一致性（E_C）

专用台阶规总长度不小于仪器工作行程对角线的4/5，高度差不小于Z方向行程的1/2

5

影响测头探测误差（P_V）

标称直径（0.1～1）mm，圆度0.5μm的圆形靶标

6

影像测量头尺寸测量误差（E_V）

不确定度不大于1/4MPE E_XY的微刻线尺或掩膜板

7

变倍探测误差（P_Z）

圆度0.5μm且标称直径在视场范围内的圆形靶标

★3、供方提供的技术文件：

供货验收时须有中国计量科学研究院提供的溯源证书。

4、技术服务和培训：

到货后，供应商应派技术人员在客户现场对设备进行安装调试和培训，不少于1个工作日。

★5、质量保证期：

验收合格后1年。