技术要求
1.1 电子光学系统
★1.1 SE分辨率：15KV≤0.7nm(工作距离≥4mm，非减速模式)；
▲1.2 SE分辨率：1KV≤0.8nm（工作距离≥1.5mm，减速模式）；
1.3 放大倍数：最小≤25倍；最大≥95万倍，底片和显示器倍率可同时显示；
1.4 加速电压：0.6-30kV，0.1kV/步；
1.5 着陆电压（样品台减速）：0.1-2kV；
▲1.6 电子某：冷场发射电子某，非肖基特热场电子某；
▲1.7 电子某亮度≥2x109 A/cm2/sr；
1.8 场发射电子源≤5nm；
1.9 对中：具有自动对中功能；
▲1.10 聚焦、消像散：自动聚焦、自动消像散并配有旋钮板+轨迹球，可自动+手动聚焦及消像散调节；
★1.11 物镜光阑：≥四孔机械可调式,内置加热自清洁装置;
▲1.12 电子束流：1pA-2nA，且连续可变，低且稳定的束流保证低压高分辨；
1.13 样品台减速：标配。
2 样品室
2.1 样品台：优中心马达驱动；
2.2 样品移动：X≥50mm；Y≥50mm；Z≥28mm；倾斜角 -5°至+70°（≥75°)；R=360°连续旋转；
▲2.3 标配样品交换预抽室：预抽室可保证直径≥100mm的样品的通过，预抽室端面为透明，可观察到样品交换过程；
▲2.4 样品防撞警报装置：非接触式碰撞保护功能（提供具体阐述材料）或配有原厂红外CCD。
▲2.5 具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落；
2.6 可放置样品最大尺寸：直径≥100mm。
3 检测器
3.1 低位二次电子探测器：可得到二次电子像；
▲3.2 镜筒内电子探测器：可选择接收二次电子像或背散射像，并以任意比例混合，在低压下（小于2kV）可以成背散射电子像。
4 数字图像记录系统
▲4.1 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告，捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名；
4.2 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等；
4.3 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3840像素；
▲4.4 自动功能：自动对焦，自动调像散，自动合轴，自动图像漂移校正。
5 电镜控制系统
5.1具有自动聚焦、自动消像散、自动对比度/亮度调节等功能；
5.2 标配气体交换组件。
6 真空系统
6.1 真空采用机械泵，涡轮分子泵（磁悬浮型）及离子泵实现；
★6.2 离子泵数量≥3个；
6.3 保护：自动真空抽气及诊断系统，具有断电、缺水、失真空保护系统；
▲6.4 样品更换抽真空时间：≤1分钟。
7.其他要求
▲7.1 扫描电镜须适应现有实验室条件：在接地电阻小于40Ω即可正常工作，无需制作超低阻值地线。可在现有场地条件下完成安装与验收。
