2023年3月22日原子层沉积系统采购项目(三次)公开招标招标公告

品目号

品目编码及品目名称

采购标的

数量（单位）

允许进口

简要需求或要求

品目预算(元)

中小企业划分标准所属行业

1-1

A02109900-其他仪器仪表

原子层沉积系统

1(套)

否

1、？反应腔系统 ★1) 样品台为不小于4英寸双腔腔体，加热温度范围：室温至500 ℃，并且操作者可以控制设置，控制精度≤1 ℃，直径100 mm基底范围内温度均一性2 ℃； 2) 样品台直径100 mm，可以生长4英寸晶圆及以下尺寸样品； 3) 4路液源，3路载气辅助源； ▲4) 设备可用于沉积单一薄膜、纳米叠层与梯度薄膜的沉积和掺杂质等；可在纳米孔洞、台阶等高深宽比的纳米结构上沉积薄膜，具有良好的台阶覆盖性； ▲5) 设备本底真空小于或等于1 Pa，腔体漏率小于或等于5×10？-10Pa·m3/s。 2、前驱体源输送系统 1) 为减少薄膜在前驱体输送管路内的污染，前源输送管路与金属前驱体源输送管路单独进入反应腔体。 ★2) 配备6路金属前驱体源输送管路，加热源3路，载气辅助源3路，配备载气管路和质量流量控制器。 ★3) 金属前驱体源输送管路均包裹在加热套中，最高加热温度250 ℃。配置温度传感器，温度控制精度≤±1℃。 ▲4) 每路管路配备ALD专用阀门，为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间小于5 ms，采用耐高温执行器，耐温200 ℃，阀体材料为不锈钢。阀体内置有直径为1/8英寸的加热器，外包保温套，最高加热温度200 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。 ▲5) 每路加热源输送管路和载气辅助源输送系统，分别配备1个ALD专用阀门、1套加热源容器以及加热保温系统。加热源容器加热保温套，最高加热温度可达250 ℃，温度控制精度≤±1 ℃。 6) 管路及接头均采用电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以根据需求设置自动清洗的次数。 3、等离子体源及控制 1) 采用电感耦合等离子体(ICP)发生器，电极与衬底距离不小于200 mm； ▲2) 提供2路可用于等离子体工艺气路，包含ALD专用隔膜阀和流量控制器； 3) 独立进气口，与金属前驱体源、氧源分开； ▲4) 采用13.56 MHz射频电源，功率1%-100%可调，配备自动匹配器，匹配时间≤5秒。 5) 等离子体系统与控制界面集成，可在界面上查看等离子体入射功率及反射功率的实时动态曲线和历史曲线，便于分析实验数据。 4、臭氧源系统： 1) 配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器； ▲2) 臭氧发生器产量

990,000.00

工业

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2023年3月22日原子层沉积系统采购项目(三次)公开招标招标公告

项目概况

一、项目基本情况

二、申请人的资格要求：

三、采购项目需要落实的政府采购政策

四、获取招标文件

五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

六、公告期限

七、其他补充事宜

八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

2.采购代理机构信息（如有）

3.项目联系方式