化合物/介质膜刻蚀设备

招标公告DXF十环招标网

1. 招标条件DXF十环招标网

本招标项目化合物/介质膜刻蚀设备招标人为中国电子科技集团公司第四十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对化合物/介质膜刻蚀设备进行国内公开招标。DXF十环招标网

2. 项目概况与招标范围DXF十环招标网

2.1 招标编号：ZKX20260424A011DXF十环招标网

2.2 招标项目名称：化合物/介质膜刻蚀设备。DXF十环招标网

2.3数量:1台DXF十环招标网

2.4 主要内容：化合物/介质膜刻蚀设备要求为国产全新设备，主要用于铟镓砷APD焦平面探测器微纳光场调控结构、隔离沟槽结构等窄线宽图形刻蚀,完成化合物及介质膜材料刻蚀工艺,化合物材料方面，主要包括InP、InGaAs（P）、InAlAs等；介质膜方面，主要包括SiO2、SiNx、SiNxoy等单层或多层混合介质膜。主要流程：在铟镓砷APD焦平面芯片制作全流程工艺中，化合物/介质膜刻蚀设备在光刻工序完成刻蚀掩膜制作之后，用于晶圆表面介质开窗及材料刻蚀。刻蚀工艺完成之后，通过后续PECVD工序完成材料表面钝化。工艺输入输出均为标准晶圆。DXF十环招标网

2.5 交货地点：重庆市沙坪坝区西永微电园西永大道23号。DXF十环招标网

2.6 交货期：合同生效后150天。DXF十环招标网

3. 投标人资格要求DXF十环招标网

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。DXF十环招标网

3.2 业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标同型号设备的销售业绩≥3台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人或制造商）。合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。DXF十环招标网

3.3 其它要求：本项目接受代理商投标，如代理商投标，需提供所投产品制造商针对本项目的授权证明文件，同一品牌同一型号产品仅能授权一家投标人参与本项目投标，制造商与代理商不得同时参与本项目投标。DXF十环招标网

3.4本次招标不接受联合体投标。DXF十环招标网

3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。DXF十环招标网

4. 招标文件的获取DXF十环招标网

4.1凡有意参加投标者，请于2026年07月17日至2026年07月24日17时(北京时间)，登录中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn,注册操作咨询电话010-86397110）购买并下载招标文件，现场不予受理。DXF十环招标网

4.2 招标文件每套售价800元（从中招联合招标采购平台下载标书款电子发票），售后不退。DXF十环招标网

5. 投标文件的递交DXF十环招标网

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年08月07日09时30分，地点为圣荷酒店会议室（重庆市沙坪坝区西永大道36号）。招标人在本项目递交投标文件截止时间和递交地点开标，邀请所有投标人参加开标，投标人未派代表参加开标的，视为默认开标结果。DXF十环招标网

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。DXF十环招标网

6. 发布公告的媒介DXF十环招标网

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台和中招联合招标采购平台发布。DXF十环招标网

7.监督部门DXF十环招标网

本招标项目的监督部门为：法务与风控审计部。DXF十环招标网

8.联系方式DXF十环招标网

招标人名称：中国电子科技集团公司第四十四研究所DXF十环招标网

地址：重庆市沙坪坝区西永大道23号DXF十环招标网

联系人：吴先生DXF十环招标网

电话： 023-65860107DXF十环招标网

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司DXF十环招标网

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼DXF十环招标网

售卖联系人：李经理DXF十环招标网

电话：028-85756520DXF十环招标网

项目负责人：唐玲DXF十环招标网

电子邮件：zhaobiaobu@zonkex.comDXF十环招标网

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