| D100-4882原子层沉积系统主要技术参数 |
| (1) 压敏式进料系统组成及技术参数 |
| 设备名称 | 设备组成 | 数目/个 | 技术参数 |
| 压敏式 进料系统 | 不锈钢进气管路 | 6 | 304不锈钢 |
| 独立式进料管路 | 6 | 304不锈钢 |
| 原子层沉积专用电磁阀门 | 6 | 工作压力：真空~145 psig (10bar) 爆破压力：3200 psig (220 bar) 执行压力：3.5~6.2 bar 温度：0~200 ℃ 流量系数：0.62 阀体：316L VIM-VAR不锈钢 隔膜材料：钴基超级合金 端接类型：VCR面密封接头 |
| 隔膜阀 | 2 | 工作压力：真空~250 psig (17bar) 爆破压力：3200 psig (220 bar) 执行压力：3.5~6.2 bar 温度：0~65℃ 流量系数：0.27 阀体：316L不锈钢 隔膜材料：钴基超级合金 端接类型：VCR面密封接头 |
| 耐高温美式球阀 | 4 | 工作压力：真空~5.0 bar 温度：0~160℃ 阀体材料：316L不锈钢 填料材料：聚四氟乙烯 端接类型：VCR面密封接头 端接尺寸：1/4英寸 开关模式：两通 |
| 三通 | 1 | 端接类型：VCR面密封接头 端接尺寸：1/4英寸 产品材料：316L不锈钢 工作压力：真空~17.0 bar 爆破压力：200 bar 温度：0~200 ℃ |
| 进料管柔性加热套 | 5 | 控温精度：室温~200 ℃，加热精度±0.3 ℃ 加热功率：57 W 升温方式：设定程序控制 升温速率：1~10 ℃ /min 各温度段恒温时间：0~360天 进料管和进气管进行贴合式人性化设计，方便拆卸；分级式加热材料和保温套确保加热温度的均匀性 |
| VCR接口 | 20 | VCR接口，316L不锈钢 |
| 直通截止阀 | 1 | 两通，304不锈钢 |
| 直通球阀 | 1 | 两通，304不锈钢 |
| (2) 高精度热电控制平台组成及技术参数 |
| 设备名称 | 设备组成 | 数目 | 技术参数 |
| 高精度 热电控制 平台 | 一体式抗指纹不锈钢框架 | 1台 | 产品材质：304不锈钢 产品尺寸：685*705*955 mm 不锈钢厚度：2 mm 承重轮：静音、万向，材质为高弹性塑料和不锈钢 焊接方式：铆钉和无缝焊接 产品特征：特殊处理，抗指纹、抗腐蚀 处理方式：抛光 不锈钢板厚度：2 mm 放置方式：直立 承重：300 kg |
| 全抛光型不锈钢反应器 | 1个 | 材质：304不锈钢 规格：圆形 反应器：内径为150 mm，基片尺寸为4英寸及以下 产品特点：盖子采用双层设计，并填充保温层 加热方式：浇铸电阻丝加热并导热 加热温度：室温~300 ℃；精度±0.3 ℃ |
| 高精度VCR不锈钢瓶 | 6个 | 瓶体材料：316L不锈钢 温度：0~200℃ 端接类型：VCR面密封接头 端接尺寸：1/4英寸 工作压力：真空~5.0 bar |
| 系统柔性加热套 | 1个 | 加热功率：270 W 控温精度：室温~200 ℃，加热精度±0.3 ℃ 拆卸方式：分级式加热材料和保温套自由拆开，以保证加热的均匀性 各温度段恒温保持时间：0~360天 升温方式：设定程序控制 升温速率：1~10 ℃ /min |
| TKSCT螺母 | 8个 | 产品工艺：特殊洁净处理、无氧化、抛光 执行压力：3.5~5.2 bar 温度：0~200 ℃ 产品材质：316L VIM-VAR不锈钢 接口类型：VCR 接口尺寸：1/4英寸 |
| (3) 臭氧制备系统组成及技术参数 |
| 设备名称 | 设备组成 | 数目/个 | 技术参数 |
| 臭氧制备系统 | 高浓度臭氧发生器 | 1台 | 规格型号：JP-5g 额定臭氧流量：5 g/h 额定臭氧浓度：10-20 mg/L 额定功率：150 W 额定气源：氧气 额定气量：0.13-0.25 Nm3/h 气源露点：＜–60 ℃ 工作压力：0.095 MPa±5% 额定冷却水水量：0.02 m3/h 冷却水温度：＜30 ℃ 输入电源：220 V/1 ph/50 Hz 进出气接口规格：G1/8 进出水接口规格：G1/8 |
| 不锈钢气体管路 | 1 | 1) 配置O2/O3气体管路； 2) 采用316不锈钢； 3) 配置直通不锈钢球阀； 4) 自设计高重复性装置，控制精度±0.1sccm。 |
| 气体质量流量计 | 1 | 产品类型：高精度型，快响应型，数字型，低零漂及温漂型，抗电磁干扰 流量量程：(0~5，10，20，30，50，100，200，300，500) sccm, (0~1，2，3，5，10，20，30，50) slm 产品精度：±0.35％F.S.(＜35% F.S.)及±1.0% S.P.(≥35% F.S.) 重复精度：±0.2% FS 线性：±0.5% F.S. 响应时间：≤1sec 工作温度范围：(5~45) ℃ 耐压：3 MPa 密封材料：氟橡胶Viton 输入输出信号：(0~5) VDC，(0~20) mA，(4~20) mA，RS-485，DeviceNet，Profibus 电源：±15V，24V，±8~±16 VDC 或 +14~+28 VDC 阀类型：常开 (流量量程≤30 slm) 或常闭 温度系数：Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ 零点飘移指标：＜0.6% F.S. 电气连接：Profibus，D sub 15 pins Male，D sub 9 pins Male，DeviceNet Male 工作压差范围：(0.05～0.35) MPa（F.S.≤10 slm），(0.1～0.35) MPa（10 slm≤F.S.≤30 slm），(0.2～0.45) MPa（30 slm＜F.S.） 漏率：1×10-9 atm•cc/sec He（1×10-10 Pa•m3/sec He） 表面化学成分：无 表面粗糙度：25 µinch 抗电磁干扰：CE |
| VCR垫片 | 4个 | 接口类型：VCR 材质：Ni |
| 臭氧制备系统 | VCR焊接接头 | 4个 | 接口类型：VCR 材质：316L不锈钢 适用接口尺寸：1/4英寸 工艺：高真空，抛光，无氧化 |
| VCR螺母 | 5个 | 接口类型：VCR 材质：316L不锈钢 适用接口尺寸：1/4英寸 工艺：高真空，抛光，无氧化 |
| (4) 真空控制系统组成及技术参数 |
| 设备名称 | 设备组成 | 数目/个 | 技术参数 |
| 真空控制系统 | 知名品牌真空泵 | 1 | 抽速：4L/s 极限压力：可达到9×10-4mbar 配备KF快接接口，方便装卸 |
| 不锈钢气动角座阀 | 1 | 容易安装：气控头可以作360°的旋转，甚至限位开关也可以 360°旋转。可以方便地安装一到二个限位开关。 气动控制器：加厚工程塑料外壳，安全可靠。低磨损的活塞结构，易运行，耗气量低。内部无件自润滑，免维护。 具有多种控制方式：常开、常闭、双动。 要求更小的气动执行器：流体从阀杆上方流入时，可选更小的控制头。 容易连接：MAMUR标准连接，嵌入式金属接头。 长寿命导杆：阀杆契形特氟隆（PTEE）密封，避免脏物导入。自润滑，免维护。阀杆经特别处理以确保最佳固定，并能自动校正位置。 |
| 油雾过滤器 | 1 | 组成：油雾过滤器、尾气吸附肼、KF系列快接接口 材质：304不锈钢 功能：用于吸附过量的反应物并保护真空泵 |
| 不锈钢管路 | 1 | 材质：304不锈钢波纹管 管径：30 mm 长度：1 m 适用气体：压缩空气、高纯/普通氮气/氩气/氧气、臭氧、硫化氢、有机分子等 |
| (5) 镀膜设备控制系统组成及技术参数 |
| 设备名称 | 设备组成 | 数目 | 技术参数 |
| 镀膜设备控制系统 | 电磁阀岛 | 1个 | 气动控制线路：采用电磁阀岛，可由电脑程序控制8路气动原件执行开关动作，且多种模式可选 最大标准额定流量：400 L/min 工作压力：-0.9 ~10 bar 阀位的最大数量：8 压力区的最大数目：2 环境温度：-5~50 ℃ 防护等级：IP65 额定尺寸：4 mm 驱动类型：电气 密封原则：软性 阀岛型号：10 设计结构：活塞滑块 阀岛结构：固定模块宽度 信号状态显示：LED 额定工作电压：DC 24 V 关于工作和先导介质的说明：可以使用经过润滑的压缩空气 (一旦使用后要求一直使用经过润滑的压缩空气) 抗震性：运输应用测试，强度等级 2，符合FN 942017-4和EN 60068-2-6标准 耐冲击性：冲击试验，强度等级2，符合FN 942017-5和EN 60068-2-27标准 储藏温度：-20~40 ℃ 介质温度：-5~50 ℃ |
| 数字气体流量计 | 1个 | 产品类型：高精度型，快响应型，数字型，低零漂及温漂型，抗电磁干扰 流量量程：(0~5，10，20，30，50，100，200，300，500) sccm, (0~1，2，3，5，10，20，30，50) slm 产品精度：±0.35％F.S.(＜35% F.S.)及±1.0% S.P.(≥35% F.S.) 重复精度：±0.2% FS 线性：±0.5% F.S. 响应时间：≤1sec 工作温度范围：(5~45) ℃ 耐压：3 MPa 密封材料：氟橡胶Viton 输入输出信号：(0~5) VDC，(0~20) mA，(4~20) mA，RS-485，DeviceNet，Profibus 电源：±15V，24V，±8~±16 VDC 或 +14~+28 VDC 阀类型：常开 (流量量程≤30 slm) 或常闭 温度系数：Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ 零点飘移指标：＜0.6% F.S. 电气连接：Profibus，D sub 15 pins Male，D sub 9 pins Male，DeviceNet Male 工作压差范围：(0.05～0.35) MPa（F.S.≤10 slm），(0.1～0.35) MPa（10 slm≤F.S.≤30 slm），(0.2～0.45) MPa（30 slm＜F.S.） 漏率：1×10-9 atm•cc/sec He（1×10-10 Pa•m3/sec He） 表面化学成分：无 表面粗糙度：25 µinch 抗电磁干扰：CE |
| 8通道PID高精度温控系统 | 1套 | 采用厦门宇电控温表头，固态继电器输出，加热温度范围：室温~300℃，控温精度优于±0.3 ℃。 ● 控温表头参数： 支持四路可编程测量输入回路，类型固定为热电偶，各输入回路点点隔离，适合负极与外壳相连的热电偶； 使用高性能的元器件，大大降低温度漂移并使得各个通道之间相互干扰降低。 既可以独立使用，也可以和触摸屏或PLC联机使用； 应用宇电公司新一代技术，使多路温控器达到与单回路仪表相当的精度与抗干扰能力； 输入数字校正，各输入回路均具备数字滤波，且滤波强度可以独立调整或取消滤波； SSR电压输出，控制周期0.48～5秒可调； 先进的AI人工智能调节、自整定、自适应、控制精确稳定； 仪表功耗比用4台单回路仪表降低约75％。 ●固态继电器参数： 额定电流：20A 额定工作电压：24~240 V 控制输入电压：3~32 V 控制输入电流：≤8 mA 关断电压：≥1.2 V 控制方式：过零触发 通态压降：≤1.2 V 漏电流：≤2 mA 反应时间：＜10 ms 安置方式：螺栓固定 绝缘强度：≥2500 V 绝缘电阻：≥100 M 电压指数上升率dv/dt：≥500 VUS 工作指示：LED灯 工作温度：-20~80℃ 壳体：阻燃、绝缘 |
| 数字真空变送器 | 1个 | 模式：数字电阻真空计 通信方式：RS485通信 总线协议：MODBUS协议 测量范围：0.1~1 atm |
| 软件控制系统 | 1套 | 1)预装Windows笔记本电脑； 2)本设备由电脑程序进行控制，方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存； 3)沉积软件采用高度集成整合界面，可在同一界面方便的对沉积参数进行控制； 4)程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，利于长久保存、方便查询及故障检查； 5)流动和憋气两种模式可选，程序可任选两种模式中的一种，一键设定，方便可选； 6)沉积序列设置方便，可交替循环，实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的沉积； 7)程序设计有最高气压限制、温度范围限定，可防止CVD反应。 |
