----------------------------------招标机构发布信息原文：-----------------------
标题:2018年10月31日下午发布发布关于张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标公开招标公告10
上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
《==招标投标法 第四十二条 评标委员会经评审，认为所有投标都不符合招标文件要求的，可以否决所有投标。依法必须进行招标的项目的所有投标被否决的，招标人应当依照本法重新招标。==来源:十环招标网==》
项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标 项目编号：18101815 项目联系方式： 项目联系人：赵丽莉 项目联系电话：86-21-62791919×135 采购单位联系方式： 采购单位：中国科学院上海高等研究院 地址：上海市浦东新区海科路99号 联系方式：陈洁、021-20325063 代理机构联系方式： 代理机构：上海国际招标有限公司 代理机构联系人：赵丽莉、86-21-62791919×135 代理机构地址： 中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼 一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍： 序号 | 货物名称 | 简要技术说明 | 数量 | 交货期 |
|---|
1 | 深紫外线曝光设备 | 分辨率：150纳米 扫描速率：每秒250毫米 镜头失真：±32纳米以内 最大曝光区域：水平25.0毫米，垂直33.0毫米 聚焦水平重复性：3σ≦ 80纳米 聚焦校准重复性：3σ≦ 80纳米 线性曝光功率：≧800mW/cm2 整合剂量控制精度：±1.2％ 光罩旋转精度：｜M｜+3σ≦ 15nm 对准精度：｜M｜+ 3σ≦ 40nm， 3σ≦ 30nm 步进精度：3σ≦20nm | 1台/套 | 2019年1月30日 | 2 | 晶圆涂胶和显影设备 | 喷嘴流量：0.8-1.5 cc 化学液温度及控温精度：22.0~26.0 ± 0.2°C 光刻胶厚误差：<=30Å ADH控温精度：50.0至120.0°C±0.4°C 120.1至150.0°C±0.8°C 150.1至180.0°C±1.2°C HCP控温精度：15.0至30.0°C±0.2°C HHP控温精度：50.0至120.0°C±0.4°C 120.1至150.0°C±0.8°C 150.1至350.0°C±1.2°C CHP控温精度：50.0至120.0°C±0.4°C 120.1至150.0°C±0.6°C 150.1至200.0°C±1.0°C PHP控温精度：50.0至150.0°C±0.4°C 150.1至200.0°C±0.6°C 200.1至250.0°C±1.0°C 冷却温度：15.0~30 ± 0.4°C | 1台/套 | 2019年1月30日 |
二、投标人的资格要求： 1）投标人须是投标货物的制造商，或是再制造企业，或是取得有效授权的代理商。(若是再制造企业，应当具备再制造生产所需的必备条件（见质检检函[2008]109号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”），并向所在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面唯一授权书及售后服务授权书。)；2）投标货物可以是全新设备，也可以是再制造后的旧设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为旧设备，须提供设备的生产年份和序列号，且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求，通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。）；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；4）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照或其他相关登记证明文件）；5）投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；6）投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有深紫外线曝光设备、晶圆涂胶和显影设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；7）投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标人提出要求后的3天内接受招标人对机台真实性的现场查验；8）本项目不接受联合体投标。
《==招标投标法 第五十一条 招标人以不合理的条件限制或者排斥潜在投标人的，对潜在投标人实行歧视待遇的，强制要求投标人组成联合体共同投标的，或者限制投标人之间竞争的，责令改正，可以处一万元以上五万元以下的罚款。==来源:十环招标网==》
三、招标文件的发售时间及地点等： 预算金额：2550.0 万元（人民币） 时间：2018年10月31日 15:24 至 2018年11月08日 16:00(双休日及法定节假日除外) 地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼 招标文件售价：￥1000.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 招标文件获取方式：至现场购买 四、投标截止时间：2018年11月21日 09:30 五、开标时间：2018年11月21日 09:30 六、开标地点： 中国上海延安西路358号美丽园大厦20楼第9会议室 七、其它补充事宜 八、采购项目需要落实的政府采购政策： 本次招标所需的资金来源已经落实。
来源：上海中国科学院上海高等研究院
------------------------------------招标信息结束----------------------------
标签: 上海
上一篇: 2018年10月31日下午发布发布关于南京信息职业技术学院汽车总线实训室设备公开招标公告10月31日
下一篇: 返回列表
本站网址：
-------------------------------------友情提示：--------------------------------
注意：本站点所有信息全部免费浏览，来源于上海中国科学院上海高等研究院地政府采购网站，本站不做任何修改以及联系方式屏蔽,其真实性需要使用者自己确认，十环网2018项目所有信息均为免费公开查询，不承担任何商业责任！如果2018项目有涉及到虚假和隐私信息，需要删除的请使用以下方式联系我们，我们将在第一时间处理！
更正或删除信息请发邮件：59922383@qq.com
|
