----------------------------------招标机构发布信息原文：-----------------------
标题:复旦大(第二次)学高温原子层沉积设备项目中标公告2月8日
中金招标有限责任公司受 复旦大学的委托，就复旦大学高温原子层沉积设备项目项目（项目编号：0773-1840SHHW0002）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：
《==招标投标法 第二十八条 投标人应当在招标文件要求提交投标文件的截止时间前，将投标文件送达投标地点。招标人收到投标文件后，应当签收保存，不得开启。投标人少于三个的，招标人应当依照本法重新招标。==来源:十环招标网==》
《==招标投标法 第五十三条 投标人相互串通投标或者与招标人串通投标的，投标人以向招标人或者评标委员会成员行贿的手段谋取中标的，中标无效，处中标项目金额千分之五以上千分之十以下的罚款，==来源:十环招标网==》
一、项目信息 项目编号：0773-1840SHHW0002 项目名称：复旦大学高温原子层沉积设备项目 项目联系人：费雨薇 张莹莹 联系方式： 021-66059798 二、采购单位信息 采购单位名称： 复旦大学 采购单位地址：上海市杨浦区邯郸路220号 采购单位联系方式：校方联系人/技术负责人：项文/孙清清 电话： 86-21-65119568-107/ 13774250691 三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期： 项目用途：高温原子层沉积设备由真空腔体，真空抽气系统，样品台系统，等离子体模块，气路，前驱物管路等组成，可实现介质薄膜的沉积，包含样品传输腔体。 简要技术要求：1.1 ★真空腔体：反应腔体，腔体水平放置，腔体两端连接有抽气法兰和前驱体源进气法兰，气流结构为横向流结构；腔室所有法兰连接均采用全氟橡胶O型圈密封，真空漏率小于5*10-7 Pa.L/s；腔门设有观察窗，以观察等离子体的放电状态；
1.2 抽气系统：配置高性能双极旋片式防腐真空泵，系统本底真空需要达到5*10-3 Torr，满足对本底真空和原子层沉积工艺的要求；
1.3 真空测量系统：配置监测反应腔压力脉冲变化的MKS数字式压力传感器，检测范围为：1*10-5～1*105 Torr。 合同履行日期：详见招标文件和投标文件 四、采购代理机构信息 采购代理机构全称：中金招标有限责任公司 采购代理机构地址：上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室 采购代理机构联系方式：费雨薇 、张莹莹 联系电话：021-66059798 五、中标信息 招标公告日期：2018年01月04日 中标日期：2018年02月08日 总中标金额：206.5 万元（人民币） 中标供应商名称、联系地址及中标金额：
《==招标投标法 第五十三条 投标人相互串通投标或者与招标人串通投标的，投标人以向招标人或者评标委员会成员行贿的手段谋取中标的，中标无效，处中标项目金额千分之五以上千分之十以下的罚款，==来源:十环网==》
序号 |
《==招标投标法 第六章 责任 第四十九条 违反本法规定，必须进行招标的项目而不招标的，将必须进行招标的项目化整为零或者以其他任何方式规避招标的，责令限期改正，可以处项目合同金额千分之五以上千分之十以下的罚款；==来源:十环网==》
中标供应商名称 | 中标供应商联系地址 | 中标金额(万元) | | 1 | 建发（上海）有限公司 | 上海市浦东新区张杨路620号 | 206.500000 |
评审专家名单： 王慧敏、狄增峰、黄文青、王宇晓、朱颢 中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求： 中标标的名称：高温原子层沉积设备 规格型号：PEALD-F50R 数量：1套 中标金额：人民币2,065,000.00 六、其它补充事宜 本项目为国际标，详见中国国际招标网。
来源：上海复旦大学
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标签: 中标 项目 招标 设备 配置
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