“清华大学超高性能电子束曝光机采购项目”项目（项目编号：清设招第2019010号） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：
一、项目信息
项目编号：清设招第2019010号
项目名称：清华大学超高性能电子束曝光机采购项目
项目联系人：李春艳
联系方式：62795196
二、采购单位信息
采购单位名称：清华大学
采购单位地址：北京市海淀区清华大学
采购单位联系方式：李春艳62795196
三、成交信息
招标文件编号：清设招第2019010号
本项目招标公告日期：2019年01月29日
成交日期：2019年04月01日
总成交金额：1150.0 万元（人民币）
成交供应商名称、地址及成交金额：
成交供应商名称：日本 Elionix株式会社
联系地址：3-7-6 Motoyokoyama-cho Hachioji Tokyo
成交金额：1150万元人民币
本项目代理费总金额：0.0 万元（人民币）
本项目代理费收费标准：
无
谈判小组、询价小组成员名单及单一来源采购人员名单：
单一来源采购人员名单：何珂、王立莉、李铁夫、张浩、张定
四、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：
目前随着对量子材料和量子器件研究的深入，日益迫切的需要人工微结构制备和测量技术的全方位提升，再加上该设备在材料纵深结构样品制备、大面积集成微纳光电子学器件、超导电子学器件制备等方面的独到优势，引进该设备是十分必要和迫切的事情。对于纳米器件来说，当器件尺寸减小到纳米量级，一些器件将会呈现传统微米器件所不具备的新奇特性。可以说，电子束曝光技术是先进的的核心必备技术。有了它，可以使我们的工艺水平从传统的微米量级，进入到亚微米和纳米尺度，从而有能力构造纳米器件，并从纳米尺度研究新型纳米器件和量子现象。合同签订9个月内交货。
五、成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：
成交标的名称：超高性能电子束曝光机
规格型号：ELS-F125G8等
数量： 1套
单价：1150万元/套
服务要求：质保期自验收之日起不少于6年。
六、其它补充事宜
