5月10日发布上海市浦东新区海科路99号张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发CMP化学机械抛光设备、快速退火系统RTP1和Tilt扫描电镜设

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　　上海国际招标有限公司受上海市浦东新区海科路99号的委托，就“张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发 CMP化学机械抛光设备、快速退火系统RTP1和Tilt扫描电镜设备采购项目重新招标国际竞争性招标”项目（项目编号：0705-194118101818）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：

一、项目信息

项目编号：0705-194118101818

项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发 CMP化学机械抛光设备、快速退火系统RTP1和Tilt扫描电镜设备采购项目重新招标国际竞争性招标

项目联系人：赵丽莉

联系方式：021-62791919*135

二、采购单位信息

采购单位名称：上海市浦东新区海科路99号

采购单位地址：上海市浦东新区海科路99号

采购单位联系方式：陈洁21-20325067

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

项目用途、简要技术要求：

CMP化学机械抛光设备：工艺方式：干进干出
高抛光速率：>3000A/min
低抛光速率：<200A/min
抛光片内非均匀性：<3%
片与片抛光速率变动：<3%
抛光后表面颗粒：<10

快速退火系统：加热方式：灯管加热
控温范围：400°C – 1150°C
瞬时退火峰值温度时长：<2秒
升温速率：> 150oC每秒
降温速率：> 50oC每秒
控温精度：+/- 5oC
升降温：可控式
配有氧气水平检测传感器

Tilt扫描电镜_Tilt SEM：
承片台旋转角度：0o, 45o, 90o，180o
承片台倾斜角度：5o-45o
需要EDX元素检测功能
EDX加速电压：5kV - 10kV
EDX分辨率：138eV@Mn 5KeV;
82eV@F 5KeV
需有增强型电压对比成像模式
需有增强型高宽比成像模式
需晶圆倾斜观测

合同履行日期：交货期2019年6月1日之前。
《==招标投标法 第五十三条 情节严重的，取消其一年至二年内参加依法必须进行招标的项目的投标资格并予以公告，直至由工商行政管理机关吊销营业执照；构成犯罪的，依法追究刑事责任。给他人造成损失的，依法承担赔偿责任。==来源:十环招标网==》

四、采购代理机构信息

采购代理机构全称：上海国际招标有限公司

采购代理机构地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

采购代理机构联系方式：赵丽莉、021-62791919*135

五、中标信息

招标公告日期：2019年04月15日

中标日期：2019年05月08日

总中标金额：3442.0 万元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

序号
中标供应商名称
中标供应商联系地址
中标金额(万元)

1
Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
上海市浦东新区张江高科技园区张东路1388号22栋
3442.000000

本项目招标代理费总金额：13.0 万元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

根据国家发改委1980号文货物类标准收费下浮40%计取。

评审专家名单：

葛福第、高月、周宏、莫华强、李斌

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

中标标的名称：CMP化学机械抛光设备、快速退火系统RTP1和Tilt扫描电镜设备；
规格型号：Mirra Mesa/RTP Radiance +/SEMVision G2+；数量：3台/套；单价：USD 5,100,000.00；
服务要求：提供以上3台/套设备的供货以及安装、调试、售后服务、质保等伴随服务。

六、其它补充事宜

本项目为国际竞争性招标，本公告同步发布在中国国际招标招标网，如有不一致，以中国国际招标招标网的公告为准。

中标价以美元价格为准。