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标题:成交：大连理工大学ALD原子层沉积系统成交公告由大连理工大学第一次在辽宁发布
原标题：大连理工大学ALD原子层沉积系统成交公告
十环招标网标题：成交：大连理工大学ALD原子层沉积系统成交公告由大连理工大学第一次在辽宁发布
十环招标网标号：10h1568794082
信息来源：辽宁政府采购网
官方发布时间：2019-09-18 15:52
十环招标网转发时间：2019年09月18日 16时08分
==========以下为招标信息正文==========
“大连理工大学ALD原子层沉积系统”项目（项目编号：DUTASD-F2019622） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：一、项目信息项目编号：DUTASD-F2019622项目名称：大连理工大学ALD原子层沉积系统项目联系人：李蕾联系方式：0411- 84709969二、采购单位信息采购单位名称：大连理工大学采购单位地址：大连理工大学国际会议中心（科技园大厦C座）409室采购单位联系方式：李蕾 lilei@dlut.edu.cn三、成交信息招标文件编号：DUTASD-2019622本项目招标公告日期：2019年09月16日成交日期：2019年09月18日总成交金额：120.0 万元（人民币）成交供应商名称、地址及成交金额：
序号 成交供应商名称 成交供应商联系地址 成交金额(万元) 1 大连子末科技有限公司 辽宁省大连市甘井子区七贤东园28号1单元6层1号 120.000000
本项目代理费总金额：0.0 万元（人民币）本项目代理费收费标准：0谈判小组、询价小组成员名单及单一来源采购人员名单：高岩、李斐、刘进轩四、项目用途、简要技术要求及合同履行日期： 大连理工大学化工与环境生命学部精细化工国家重点实验室，化学工程与技术学科公共平台建设，主要研究金属氧化物和金属氮化物在不同样片上的三维薄膜生长情况，研究其阶梯覆盖率、薄膜生长的均匀性、以及可以到光学级别的表面粗糙度。《==招标投标法 第四十八条 中标人应当按照合同约定履行义务，完成中标项目。中标人不得向他人转让中标项目，也不得将中标项目肢解后分别向他人转让。==来源:十环招标网==》通过原子层级别的薄膜生长，在材料、半导体、生物、航空、电子、MEMS等行业的广泛应用具有重要理论意义和实际应用基础。本项目能够提供不均匀小于1A的光学级别的高品质薄膜。基于该项目研究内容，本项目拟采购的原子层沉积系统要求能够提供优于+/-0.35%左右的超高均匀性，以及接近于100%的阶梯覆盖率，并可以实现大于100:1的大深宽比的深孔沉积，可以真正意义上控制原子层级别的厚度生长，并且可以预留后期以较低成本升级到PEALD的应用。 五、成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：ALD原子层沉积系统 NMC Q_NLD-3000 1台 六、其它补充事宜
来源：辽宁政府采购网
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